Semitron® MPR1000 案例研究

采用先进的新型 PAI，为未来的晶圆生产保驾护航

我们与一家大型半导体工艺设备制造商进行合作，合力开发了一种具有更长使用寿命的抗氧气清洗耐腐蚀 PAI 材料，以保证生产的平稳运行。

亮点

Semitron^® MPR1000 案例研究

我们帮助客户克服了蚀刻工具真空腔所用 PI 零件的过早腐蚀问题。

对客户而言，我们的优势就在于我们的行业知识和着眼于未来的方法，让我们对开发增强型 PAI 材料以满足半导体蚀刻加工严苛要求做好了充分准备。

通过协作，我们能够改进新材料以满足客户的规范标准，同时积极对材料的实际应用性能进行了贝塔测试。结果──我们独特的 Semitron^® MPR1000 是一种增强型 PAI，对氧气清洗侵蚀防护会比常用的 PI 更加持久。

行业：半导体与电子，芯片制造

解决方案：使用高强度、高纯度配方开发新型先进材料以制造更可靠的零件

产品：Semitron^® MPR1000，增强型 PA

结果：更坚固、更耐氧气清洗的零件可减少停机时间并延长计划维护周期的时间

挑战

提高零件完整性，确保持续生产

一家大型半导体加工设备制造商的真空蚀刻腔采用 PI 零件，因氧气清洗出现快速侵蚀和故障。现有材料退化引发污染问题、过早出现不菲的计划停机维护。

我们需要生产的零件必须符合所需强度和纯度标准，为了优化工具正常运行时间，同时还应足以承受高强度氧气清洗过程 。

解决方案

具有前瞻性的先进材料研发方法

凭借深厚的行业知识和前瞻性方法，我们已着手研发创新性新型 PAI 材料，这种材料可以免受蚀刻工具过程和清洗方案的影响，并通过延长所需计划维护间隔，优化正常运行时间。

我们与 OEM 的工程小组通力协作，根据其规范对材料进行了改进，同时积极对材料的实际应用性能进行贝塔测试。

结果 —— 我们独特的 Semitron^® MPR1000 是一种增强型 PAI，可作为零件的“保护层”，对一般的氧气清洗侵蚀防护会比常用的聚酰胺更加持久。

“等待响应客户需求从不是我们的行事作风，主动开发所需材料，为客户的业务未来保驾护航才是我们的行动标准。凭借深厚的行业专业知识以及与 OEM 的紧密合作，我们开发出一种独特材料，兼具陶瓷的稳定性与聚合物的延展性，尤其适合用于满足高科技制造的要求。”

结果

减少生产延期，削减成本

我们与 OEM 合作开发的新型材料采用全新的高新 PAI 配方，已解决客户的停工时间问题。

测试表明，与常用市售 PI 材料相比，Semitron^® MPR1000 的离子侵蚀含量和渗气性更低，在标准蚀刻真空工具环境中循环数小时之后造成的污染更少。另外，采用 Semitron^® MPR1000 生产的零件生命周期比常用材料制成的零件高出 10-15 倍，在进行所需计划维护之前可以延长工具的正常运行时间。

采用 Semitron^® MPR1000 生产零件不仅有助于 OEM 根据其承诺规范运行设备，还可将停机时间减少 90%，从而大幅提高晶圆加工能力。

• 延长蚀刻氧气清洗侵蚀环境中的寿命

• 降低维护成本

• 延长计划维护周期之间的生产正常运行时间

此页内容摘自https://www.mcam.com/zh/case-studies/vacuum-chamber-wafer-etching